太陽(yáng)能是未來(lái)代替化石能源的主要清潔可再生新能源之一。薄膜太陽(yáng)能電池作為目前非常有前景的一種相對(duì)較成熟的太陽(yáng)能電池，具有原料節(jié)省、成本低、弱光吸收性好、可制作大面積電池片等優(yōu)勢(shì)。

       而激光切割已經(jīng)成為集成型太陽(yáng)能薄膜電池的重要技術(shù)，對(duì)制造大面積的集成型-Si太陽(yáng)能薄膜電池有很大吸引力，能有效地簡(jiǎn)化電池的制作工序。相對(duì)于掩膜法切割，激光切割可以降低成本，增大整個(gè)電池的有效面積。因此，激光切割成為集成型-Si太陽(yáng)能電池的重要技術(shù)之一。

       目前，應(yīng)用的激光切割工藝是通過(guò)近紅外(1064nm)和綠光(532nm)相結(jié)合實(shí)現(xiàn)的。這兩種波長(zhǎng)的激光與材料的相互作用是通過(guò)熱傳導(dǎo)傳遞能量的熱效應(yīng)，切割過(guò)程中熱傳導(dǎo)必然會(huì)引起切割邊緣的熱影響區(qū)和造成切割邊緣非晶硅薄膜的晶化及缺陷濃度的變化。這些因素都會(huì)降低電池的光電轉(zhuǎn)換效率，甚至?xí)鰪?qiáng)電池光致衰減效應(yīng)。紫外(355nm)激光刻蝕是利用其波長(zhǎng)短，光子能量大，從而能直接打斷非晶硅鏈接物質(zhì)原子組分的化學(xué)鍵，實(shí)現(xiàn)加工效果的“冷”加工，減小了刻蝕邊緣的熱影響及其引起的晶化和缺陷濃度。

       薄膜太陽(yáng)能電池工藝已趨于成熟，制造成本低，且不受晶硅原料瓶頸的制約，已成為太陽(yáng)能電池中最成熟的產(chǎn)品，對(duì)整個(gè)潔凈可再生能源發(fā)展起了巨大的推動(dòng)作用。